【關(guān)于管式爐特征的介紹】

【應(yīng)用領(lǐng)域】化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用較為廣泛的用來(lái)沉積多種材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。

管式電爐由加熱爐本體和余熱回收系統(tǒng)組成，管式加熱爐爐體內(nèi)設(shè)置有煙囪檔板，加熱爐本體于煙囪檔板下方設(shè)置有高溫?zé)煔獬隹冢酂峄厥障到y(tǒng)包括空氣預(yù)熱器，其特征在于：空氣預(yù)熱器由非冷凝式空氣預(yù)熱器和冷凝式空氣預(yù)熱器兩段組成。

管式電阻爐的結(jié)構(gòu)：管式電阻爐外形呈一橫置的圓柱體，它安置于由薄鋼板制成的底座上。爐殼用薄鋼板圈焊而成，工作室為碳化硅或氧化鋁耐火材料制成的管形爐膛，爐膛外表面制有螺旋形的單絲槽，鐵鉻鋁合金絲繞于絲槽內(nèi)。爐膛兩端用耐火材料制成的爐圈固定于爐蓋上。

爐膛與爐殼之間用硅酸鋁耐火纖維制品等材料砌筑為保溫層。管式電阻爐的應(yīng)用范圍：管式電阻爐供實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)、科研等單位作化學(xué)分析、物理測(cè)定及熱電偶檢定等加熱用。單管定碳爐以硅碳棒為加熱元件，用于分析、測(cè)定普通鋼或合金鋼中含碳及硫量時(shí)加熱用。

本系列管式電阻爐為周期作業(yè)式電爐，可供工礦企業(yè)、科研等單位、實(shí)驗(yàn)室和車(chē)間作化學(xué)分析、物理測(cè)定和熱電偶鑒定等加熱之用。

管式電爐的使用方法：電爐操作工應(yīng)具備國(guó)家相應(yīng)電氣設(shè)備操作資格，并熟讀本電窯隨機(jī)儀表說(shuō)明書(shū)等技術(shù)文件！用戶(hù)開(kāi)關(guān)板給電爐送電，此時(shí)程序表得電，按溫度儀表說(shuō)明書(shū)設(shè)定儀表（如P、I、D參數(shù)），按工藝要求編制加熱程序，打開(kāi)加熱旋鈕，使加熱功率到達(dá)6KW。

加熱功率可按下式計(jì)算：加熱功率=儀表電壓×儀表電流正常加熱電流約為：22A，加熱電壓約為：220V。加熱停止：程序溫度結(jié)束后，執(zhí)行時(shí)間=0段程序，加熱結(jié)束。將停止按扭旋至關(guān)位。分?jǐn)嘤脩?hù)開(kāi)關(guān)。

1.程序設(shè)定溫度不得高于電爐參數(shù)溫度。

2.電爐工作時(shí)，不得打開(kāi)爐門(mén)。取產(chǎn)品時(shí)，應(yīng)等到爐溫100℃以下。

3.升溫加熱時(shí)，加熱功率不得超過(guò)6KW，否則將損傷加熱元件。

管式電阻爐的安全使用：在關(guān)鍵部位安裝有聲、光警報(bào)裝置和安全聯(lián)鎖保護(hù)裝置，確保安全，其設(shè)備安全設(shè)施達(dá)到國(guó)家規(guī)定的安全標(biāo)準(zhǔn)，包括：

（1）超溫?cái)嗯紙?bào)警及保護(hù)；充氣異常；接地保護(hù)；短路保護(hù)等。

（2）爐蓋關(guān)緊、真空度滿(mǎn)足要求，方可啟動(dòng)加熱。針對(duì)實(shí)驗(yàn)室的使用要求，裝卸料采用間歇式手動(dòng)裝、卸料。裝料時(shí)將料盒放置在料盆支架上，打開(kāi)并取出爐管一端的密封端蓋，放入帶料盒的料盒支架，再將密封端蓋安裝在爐管法蘭上并擰緊卡箍螺栓。然后通人工藝氣氛，直到爐管內(nèi)氧含量達(dá)到工藝要求時(shí)進(jìn)行升溫?zé)Y(jié)。

產(chǎn)品燒結(jié)工藝完成后，應(yīng)繼續(xù)通人小量的工藝氣氛并進(jìn)行降溫，直到爐內(nèi)溫度低于工藝要求時(shí)，方可打開(kāi)爐管密封端蓋取出產(chǎn)品。